北京时间2019年6月20日，上海证券交易所科创板股票上市委员会2019年第7次审议会议通过中微半导体设备（上海）股份有限公司（“中微半导体”）成功通过科创板首发申请。

盐城东方集团参投的中微半导体公司，是我国集成电路设备行业的领先企业。公司聚焦用于集成电路、LED芯片等微观器件领域的等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备和MOCVD设备等关键设备的研发、生产和销售。从刻蚀设备打破国际领先企业在中国市场的垄断，到成为全球MOCVD龙头，再到5nm等离子体刻蚀设备应用到全球最领先的晶圆制造厂，中微公司在中国创“芯”的当下，一直勇立潮头，用技术创新来为“中国芯”保驾护航。

财务数据显示，中微公司2016年至2018年营业收入分别为6.1亿元、9.72亿元、16.39亿元，年均复合增长率为64.00%；归母净利润分别为-2.39亿元、2991.87万元、9086.92万元。2016年至2018年，中微的研发支出分别是3.02亿元、3.3亿元、4.04亿元，占其当期营收的比例分别为49.62%、34%、24.65%。